공정 필름
Filmetrics는 비 금속성의 반도체 공정용 박막의 두께와 굴절률을 측정 하는 광범위한 제품을 제공 합니다.
F20은 두께와 굴절률을 측정 하는 단일 스팟으로 가장 적합한 솔루션 입니다.
두께 측정의 small-spot-크기는 (1 micron 까지 또는 이하), F40은 귀하의 현미경을 부착 할수 있습니다.
평편한 박막의 자동화된 두께 매핑(point-by-point)에 적합한 F50으로 시도해 보세요. F80은 생산 웨이퍼에 대한 필름 두께를 매핑 합니다.
자사의 특허된 두께 이미징 기술은 셉업이 간단하며, 적은 레서피, 더욱 견고한 패턴인식과 기존의 박막 계측 설비들보다 더욱 저렴합니다. 모두 독립형 및 조합된 버젼이 가능 합니다.
귀하의 공정 박막 응용분야에 관하여 자사의 박막 전문가에게 문의 하시길 바랍니다.
Filmetrics 는무상의 샘플측정을 제공 합니다 - 결과는 보통 1-2 일 안에 가능 합니다.